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由于夏克-哈特曼波前传感器具有:
①测量系统结构和光路简单;
②对光源的时间相干性要求不高;
③能够在弱光下操作;
④对测量环境要求不高,且在线实时测量;
⑤测量不存在2π的不定性问题,波面倾斜相同,不影响测量结果等优点
从而被广泛应用于自适应光学系统、激光参数测量、光学元件面形检测及光学系统装调当中。
· 具有波前畸变PV、RMS、zernike像差系数/lengder像差系数、斯特列尔比(SR)、点扩散函数(PSF)、线扩散函数(LSF)、调制传递函数(MTF)测量功能模块;
· 实时动态测量及多次平均测量、相对测量及绝对测量;
· 手动及自动设置测量模板(mask);
· 非均匀光场波前测量;
· 接近单位均匀响应的频响特性;
· 工作波长可扩展至紫外-近红外光谱测量范围;
利用635nm光纤激光器对哈特曼-夏克波前传感器的绝对测量精度和测量重复性进行测量。单模光纤激光器尾纤输出端面与波前传感器之间距离为2米,输出波前可以认为球面波,利用该光源来验证测量绝对精度。
次数 | PV/λ | RMS/λ |
1 | 0.023 | 0.0038 |
2 | 0.029 | 0.0047 |
3 | 0.035 | 0.0052 |
4 | 0.044 | 0.0082 |
5 | 0.037 | 0.0072 |
6 | 0.024 | 0.0036 |
7 | 0.041 | 0.005 |
8 | 0.031 | 0.0051 |
9 | 0.048 | 0.0068 |
10 | 0.045 | 0.0054 |
平均值 | 0.036 | 0.0055 |
重复性 | 0.0084 | 0.0015 |
基于HDSLM80R-NIR版本在1064nm波段进行相位变化测试