基本原理

激光分束器是一种典型的衍射光学元件,它通过衍射的作用将一束入射激光分成光强均匀分布的多束激光出射。特殊情况下,激光分束DOE不仅要满足高衍射效率、高均匀性的要求,还要能够实现大角度分束。
根据衍射光学的理论,要增大衍射角度,就必须减小分束DOE的周期。DOE周期下降也会导致近似精度下降特别是标量衍射理论方法计算时，这种影响显著，因此必须引入矢量设计方法。同时，DOE周期下降所带来加工工艺的要求急剧增加，如果不能将加工设备限制条件和加工误差考虑到设计计算过程中，将会带来衍射效率低下、分束不均匀、零级多大等系列问题，良品率极低。

实际大规模应用中多数采用二值相位型DOE，利用光刻工艺制作母版，然后采用UV转印、纳米压印等系列工艺进行大规模生产，这种方式成本低，但精度差，一般用于消费级产品中。

高精度工业级应用一般采用多台阶相位型DOE，可以实现大角度激光分束。多台阶DOE是一种周期性的二元光学元件,每个周期由多个相位单元组成,这些相位单元形成了台阶状分布，这种设计方法在30度分束衍射角内的应用中，不均匀性精度可以控制到5%以内，且对加工误差要求具有较大兼容度。这种模式必须采用半导体刻蚀工艺，由专门的半导体芯片晶圆加工厂家生产，超大批量制作时单价便宜，但小规模制作时成本非常高。

应用场景

小角度分束<15°内的3~9点通常应用到高功率激光加工领域，划线切开、打孔等应用场景较为广泛，要求衍射效率高，镀膜后能实现90%以上能量效率，不均匀性<5%；

大角度分束<50°的应用通常应用到特定场景，目前主要用于多线激光器领域，作为机器视觉光源的核心部件。

采购指南

激光器分束器件的价格和加工周期与用户需求密切相关，请务必明确指标参数，如果不清楚具体参数，可以描述应用场景由我们技术人员给予指导明确。也敬请广大客户明确理解我们的态度：不支持“国产必须便宜！”这种观念，同等品质体系下，请尊重产品价值！只认产品性能价值，不讨论“出身问题”！

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